Laboratory of Nanotechnology Semiconductor Structures

Print Friendly, PDF & Email

Laboratory of Nanotechnology Semiconductor Structures

Pomieszczenia czyste (cleanroom) klasy 1000 –100 wraz z narzędziami oraz infrastrukturą niezbędną do wytwarzania urządzeń w skali mikro i nano.

Laboratorium zajmuje się wykonywaniem komponentów i urządzeń, produkcją niskoseryjną, prowadzeniem prób oraz charakteryzacją na potrzeby uniwersytetów, przemysłu i szkolnictwa.

 

Wybór technologii, projektowanie, przygotowanie prototypów, produkcja niskoseryjna
Osadzanie warstw metalicznych i dielektrycznych
Litografia optyczna, nanoimprint
Wytrawianie i tworzenie struktur (w skali nano oraz mikro)
Charakteryzacja (SEM/FIB, pomiary profilowe)
Obróbka końcowa (docieranie/polerowanie, połączenia drutowe)

Szczegółową ofertę usług laboratorium znajdziesz tutaj.

LITOGRAFIA
SÜSS MicroTec – Układ centrowania maski MA8 z systemem nanoimprintu SMILE
Spincoater, Płytki grzewcze, piec do HDMS
Mikroskopy inspekcyjne LEICA
ŁĄCZENIE PODŁOŻY
SÜSS MicroTec SB8 – Układ do łączenia podłoży (wafer bonder)
WYTRAWIANIE
System wytrawiania parowego IDONUS HF
Systemy plazmowe SENTECH typu ICP/RIE
NAPAROWYWANIE/ROZPYLANIE WARSTW – PREVAC
CHEMICZNE OSADZANIE Z FAZY GAZOWEJ
SENTECH: Osadzanie warstw dwutlenku krzemu i azotku krzemu metodą ICP:PECVD
CHEMIA OGÓLNA
Mokre stoły laboratoryjne ARIAS do czyszczenia podłoży oraz wytrawiania mokrego
Mikroskop inspekcyjny LEICA
SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA (RTP)
CHARAKTERYZACJA I ANALIZA
Elipsometr optyczny
Profilometr stykowy BRUKER
Profilometr optyczny BRUKER
INNE
Bonder drutowy DELVOTEC
Narzędzie do docierania/polerowania Logitech

dr inż. Katarzyna Komorowska – Kierownik laboratorium
mgr Andrzej Miszczuk – Specjalista do spraw naukowych
dr inż. Krzysztof Rola – Specjalista do spraw naukowych
mgr Daria Hlushchenko – Inżynier procesu
mgr inż. Ewelina Zdanowicz
mgr inż. Katarzyna Opołczyńska – Specjalista do spraw naukowych
Aleksander Szymczak – Pracownik techniczny

Projekt OPUS finansowany przez Narodowe Centrum Nauki pt. „Wytwarzanie i optymalizacja komponentów fotonicznych za pomocą wiązki elektronowej i jonowej poprzez polimeryzację cieczy jonowych”.

Gas, J. Z. Domagała, R. Jakiela, Gerd Kunert, P. Dłużewski, E. Piskorska-Hommel, W. Paszkowicz, D. Sztenkiel, M. J. Winiarski, D. Kowalska, R. Szukiewicz, T. Baraniecki, A. Miszczuk, D. Hommel, M. Sawicki, Impact of substrate temperature on magnetic properties of plasmaassisted molecular beam epitaxy grown (Ga,Mn)N, Journal of Alloys and Compounds, 747 (2018) 946e959.
Siudzińska, A. Miszczuk, J. Marczak, K. Komorowska, Fluorescent sensing with Fresnel microlenses for optofluidic systems, accepted in Optical Engineering (2017).
Czajkowski, J. Klajn, J. Cybińska, J. Feder-Kubis and K. Komorowska, Cholesteric gratings induced by electric field in mixtures of liquid crystal and novel chiral ionic liquid, Liquid Crystals (2016), DOI. 10.1080/02678292.2016.1254825.
Słupski, M.Nikodem, L.Chai, K.Komorowska; Fabrication of multilevel resist patterns by using a liquid crystal mask, Opt. Eng. 0001;54(11):115107, 2015
Czajkowski, J. Cybińska, M. Woźniak, P. Słupski, M. Nikodem, F. Granek, K. Komorowska, Incorporation of luminescent semiconductor nanoparticles into liquid crystal matrix, Journal of Luminescence, Volume 169, Part B, Pages 850-856, 2016
Nikodem, K. Krzempek, K. Zygadlo, G. Dudzik, A. Waz, K. Abramski, K. Komorowska Intracavity polarization control in mode-locked Er-doped fibre lasers using liquid crystals, Opto-Electronics Review, 22, 113-117, 2014.
Komorowska; K. Zygadlo; B. Cichy; M.l Nikodem, Investigation of liquid crystal materials doped with quantum dots: properties and potential applications, SPIE 8982, Optical Components and Materials XI, 89820A, 2014.

Prace z Heliosem Nanolab 660:

photo_2016-07-19_10-59-47

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-09

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Polerowanie próbek:

photo_2016-07-19_10-59-59

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-15

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Nanoszenie warstw metalicznych:

photo_2016-07-19_11-00-02

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-18

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Litografia optyczna:

photo_2016-07-19_10-59-30

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Maska do litografii:

IMG_0698

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Trawienie plazmowe:

20160719_112140

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-12

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Print Friendly, PDF & Email
Posted by kkomorowska, Posted on 20.07.2016
plusfontminusfontreloadfont