Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Print Friendly, PDF & Email

Laboratorium
Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Pomieszczenia czyste (cleanroom) klasy 1000 –100 wraz z narzędziami oraz infrastrukturą niezbędną do wytwarzania urządzeń w skali mikro i nano.

Laboratorium zajmuje się wykonywaniem komponentów i urządzeń, produkcją niskoseryjną, prowadzeniem prób oraz charakteryzacją na potrzeby uniwersytetów, przemysłu i szkolnictwa.

 

  • Wybór technologii, projektowanie, przygotowanie prototypów, produkcja niskoseryjna
  • Osadzanie warstw metalicznych i dielektrycznych
  • Litografia optyczna, nanoimprint
  • Wytrawianie i tworzenie struktur (w skali nano oraz mikro)
  • Charakteryzacja (SEM/FIB, pomiary profilowe)
  • Obróbka końcowa (docieranie/polerowanie, połączenia drutowe)

 

Szczegółową ofertę usług laboratorium znajdziesz tutaj.

LITOGRAFIA

  • SÜSS MicroTec – Układ centrowania maski MA8 z systemem nanoimprintu SMILE
  • Spincoater, Płytki grzewcze, piec do HDMS
  • Mikroskopy inspekcyjne LEICA

ŁĄCZENIE PODŁOŻY

  • SÜSS MicroTec SB8 – Układ do łączenia podłoży (wafer bonder)

WYTRAWIANIE

  • System wytrawiania parowego IDONUS HF
  • Systemy plazmowe SENTECH typu ICP/RIE

NAPAROWYWANIE/ROZPYLANIE WARSTW – PREVAC

CHEMICZNE OSADZANIE Z FAZY GAZOWEJ

  • SENTECH: Osadzanie warstw dwutlenku krzemu i azotku krzemu metodą ICP:PECVD

CHEMIA OGÓLNA

  • Mokre stoły laboratoryjne ARIAS do czyszczenia podłoży oraz wytrawiania mokrego
  • Mikroskop inspekcyjny LEICA

SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA (RTP)

CHARAKTERYZACJA I ANALIZA

  • Elipsometr optyczny
  • Profilometr stykowy BRUKER
  • Profilometr optyczny BRUKER

INNE

  • Bonder drutowy DELVOTEC
  • Narzędzie do docierania/polerowania Logitech

dr inż. Katarzyna Komorowska – Kierownik laboratorium
mgr Andrzej Miszczuk – Specjalista do spraw naukowych
dr inż. Krzysztof Rola – Specjalista do spraw naukowych
mgr Daria Hlushchenko – Inżynier procesu
mgr inż. Ewelina Zdanowicz
mgr inż. Katarzyna Opołczyńska – Specjalista do spraw naukowych
Aleksander Szymczak – Pracownik techniczny

Projekt OPUS finansowany przez Narodowe Centrum Nauki pt. „Wytwarzanie i optymalizacja komponentów fotonicznych za pomocą wiązki elektronowej i jonowej poprzez polimeryzację cieczy jonowych”.

  • Gas, J. Z. Domagała, R. Jakiela, Gerd Kunert, P. Dłużewski, E. Piskorska-Hommel, W. Paszkowicz, D. Sztenkiel, M. J. Winiarski, D. Kowalska, R. Szukiewicz, T. Baraniecki, A. Miszczuk, D. Hommel, M. Sawicki, Impact of substrate temperature on magnetic properties of plasmaassisted molecular beam epitaxy grown (Ga,Mn)N, Journal of Alloys and Compounds, 747 (2018) 946e959.
  • Siudzińska, A. Miszczuk, J. Marczak, K. Komorowska, Fluorescent sensing with Fresnel microlenses for optofluidic systems, accepted in Optical Engineering (2017).
  • Czajkowski, J. Klajn, J. Cybińska, J. Feder-Kubis and K. Komorowska, Cholesteric gratings induced by electric field in mixtures of liquid crystal and novel chiral ionic liquid, Liquid Crystals (2016), DOI. 10.1080/02678292.2016.1254825.
  • Słupski, M.Nikodem, L.Chai, K.Komorowska; Fabrication of multilevel resist patterns by using a liquid crystal mask, Opt. Eng. 0001;54(11):115107, 2015
  • Czajkowski, J. Cybińska, M. Woźniak, P. Słupski, M. Nikodem, F. Granek, K. Komorowska, Incorporation of luminescent semiconductor nanoparticles into liquid crystal matrix, Journal of Luminescence, Volume 169, Part B, Pages 850-856, 2016
  • Nikodem, K. Krzempek, K. Zygadlo, G. Dudzik, A. Waz, K. Abramski, K. Komorowska Intracavity polarization control in mode-locked Er-doped fibre lasers using liquid crystals, Opto-Electronics Review, 22, 113-117, 2014.
  • Komorowska; K. Zygadlo; B. Cichy; M.l Nikodem, Investigation of liquid crystal materials doped with quantum dots: properties and potential applications, SPIE 8982, Optical Components and Materials XI, 89820A, 2014.

Prace z Heliosem Nanolab 660:

photo_2016-07-19_10-59-47

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-09

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Polerowanie próbek:

photo_2016-07-19_10-59-59

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-15

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Nanoszenie warstw metalicznych:

photo_2016-07-19_11-00-02

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-18

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Litografia optyczna:

photo_2016-07-19_10-59-30

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Maska do litografii:

IMG_0698

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

 

Trawienie plazmowe:

20160719_112140

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych


photo_2016-07-19_11-00-12

Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Print Friendly, PDF & Email

Załączniki do pobrania

Plik Rozmiar pliku Data dodania
nanotechnologia_ofertananotechnologia_oferta 631 KB 10.02.2017

Autor: PORT - Polski Ośrodek Rozwoju Technologii, Opublikowano: 02.02.2016
plusfontminusfontreloadfont